美国 Dover Motion MMX-100 微型直驱线性平台

产品概述

MMX-100 微型直驱线性平台 是元锤合作品牌 Dover Motion 推出的 MMX 微型直驱线性定位平台系列，采用超紧凑设计和高性能直线电机直驱技术，专为空间极端受限但需要高精度直线运动的精密仪器和微型自动化设备而开发。该型号提供 100 mm 的有效直线运动行程，定位精度可达 ±0.5 µm，重复定位精度 ±0.15 µm，在微型化的外形尺寸内实现了大比例的高性能运动控制。

MMX 系列是 Dover Motion 产品线中尺寸最小的直驱线性平台系列之一，其超紧凑的 170 mm × 70 mm × 28 mm 外形使其可以安装在狭小的设备空间内。尽管体积小巧，该系列依然保持了直线电机直驱驱动的零背隙优势和高精度光栅反馈控制，是微型化精密设备的理想运动组件。元锤作为 Dover Motion 在中国的授权合作伙伴，为客户提供全面的微型运动平台选型和技术支持服务。

产品特点

1. 超紧凑微型化设计

该平台在极小的 170 mm × 70 mm × 28 mm 外形尺寸内集成了高性能直线电机、光栅编码器和精密导轨，是市场上最紧凑的直驱线性平台之一。重量仅 1.8 kg，适合对载荷和空间有严格限制的应用场景。

2. 直驱电机消除背隙

采用微型无铁芯直线电机直接驱动，无任何中间传动部件，彻底消除了背隙和摩擦对定位精度的影响。平滑的驱动力输出确保了高精度的位置控制。

3. 微米级定位精度

尽管尺寸极小，该平台仍然实现了 ±0.5 µm 的定位精度和 ±0.15 µm 的重复定位精度。高分辨率微型光栅编码器提供了精确的位置反馈，确保了定位的可靠性。

4. 高速运动能力

最高速度可达 200 mm/s，在微型平台中实现了出色的动态性能。轻量化的运动部件使得平台具有极高的加速度能力，缩短了定位时间。

5. 精密微型导轨导向

配备微型精密导轨或交叉滚柱轴承导向系统，在有限的空间内提供了良好的运动平稳性和负载能力。最大负载 4 kg，满足多数微型应用的需求。

6. 标准接口易于集成

提供标准化的机械安装接口和电气连接器，可方便地集成到 OEM 设备和精密仪器中。可选多轴组合配置。

型号与技术参数

通用技术参数

典型应用

生命科学成像

支持高分辨率显微成像、共聚焦显微镜和多光子显微镜的样本自动扫描，保证长时间成像的稳定性与重复性。

半导体晶圆检测

适用于晶圆图案比对、缺陷检测和 MEMS 器件测试，提供纳米级定位精度和高通量运动能力。

精密计量与测量

用于光学测量、坐标测量机（CMM）和干涉仪中的样本精密定位与扫描运动。

激光加工与微纳制造

应用于激光直写、飞秒激光微加工和光刻机中的精密工件台定位与轨迹控制。

自动化光学检测（AOI）

支持 PCB、显示屏和精密零件的高通量自动光学检测，满足高速步进与稳定成像的需求。

OEM 仪器集成

紧凑的结构设计使其易于集成到医疗设备、科研仪器和工业自动化设备中，提供完整的运动控制解决方案。

关于元锤

元锤（One Hammer Tech）是 Dover Motion 在中国地区的授权合作伙伴，专注于精密运动控制领域的技术推广、产品销售、系统集成与技术支持。依托多年的行业经验和技术积累，我们为生命科学、半导体、精密制造、科研仪器等领域的客户提供从单轴定位平台到多轴复杂运动系统的完整解决方案。

我们不仅提供标准产品的选型咨询和采购服务，还可根据客户的特殊需求进行定制化开发与集成。如需了解更多产品信息或获取详细技术资料，请访问我们的产品目录或直接联系我们获取一对一技术支持。

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