产品概述
SmartStage XY 系列精密定位平台 是元锤合作品牌 Dover Motion 推出的 SmartStage XY 精密定位平台系列,是 Dover Motion 最具代表性的核心产品线之一。该系列涵盖多种行程规格(从 50 mm 到 200 mm)和多种配置选项(标准 XY、XYM 一体式、Open Frame 开框式等),采用统一的直线电机直驱技术平台和模块化设计理念,可灵活满足从纳米级精密定位到高速运动控制的不同应用需求。
SmartStage XY 系列在设计上秉承”高精度、高刚性、高可靠性”的核心原则,每一款产品都经过精密机械加工、严格质量检验和全面的性能测试。平台采用无铁芯直线电机直接驱动,消除了传动背隙和机械磨损,确保了长期使用中的精度保持性。全系列产品支持多种反馈控制选项和运动控制接口,可无缝集成到各类自动化系统和精密仪器中。元锤作为 Dover Motion 在中国区的授权合作伙伴,为客户提供全系列 SmartStage XY 平台的产品选型、系统集成和技术支持服务。
产品特点
1. 模块化系列化设计
SmartStage XY 系列提供从 50 mm 到 200 mm 多种行程规格,以及标准 XY、一体式 XYM 和中心开孔 Open Frame 等多种结构形式。模块化设计使得不同规格和配置的平台可以灵活组合,满足多样化的应用需求。
2. 统一的高精度直驱平台
全系列统一采用无铁芯直线电机直驱技术,零背隙传动。统一的驱动和控制接口简化了系统集成和软件开发工作。
3. 纳米级定位精度
全系列定位精度可达 ±0.5~±1.0 µm,重复定位精度 ±0.1~±0.3 µm。高分辨率光栅编码器确保了位置检测的精确性和运动控制的可靠性。
4. 高刚性结构
采用高强度铝合金基座和优化的力学结构设计,在保证轻量化的同时提供了优异的结构刚性。高刚性结构有效抑制了运动过程中的振动和变形。
5. 广泛的负载和速度范围
不同型号的负载能力覆盖 5~20 kg,速度覆盖 200~500 mm/s,可灵活配置以满足不同应用场景的性能要求。
6. 完善的附件和升级选项
提供多种升级选项,包括真空兼容版本、恒温冷却板、Z 轴集成方案和多种线缆管理方案。
系列技术规格
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 行程范围 | 50 mm × 50 mm ~ 200 mm × 200 mm |
| 定位精度 | ±0.5 ~ ±1.0 µm |
| 重复定位精度 | ±0.1 ~ ±0.3 µm |
| 编码器分辨率 | 0.02 ~ 0.05 µm |
| 最大速度 | 200 ~ 500 mm/s |
| 最大负载 | 5 ~ 20 kg |
| 驱动方式 | 无铁芯直线电机直驱 |
| 导向方式 | 交叉滚柱轴承 / 精密线性导轨 |
| 反馈方式 | 非接触式光栅编码器 |
| 结构形式 | 标准XY / XYM一体式 / Open Frame |
| 洁净室等级 | ISO Class 1 |
通用技术参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 驱动方式 | 无铁芯直线电机直驱,无背隙 |
| 反馈方式 | 非接触式光栅编码器,模拟/数字输出可选 |
| 轴承类型 | 高精度交叉滚柱轴承 |
| 导轨类型 | 精密级线性导轨 |
| 限位方式 | 光电限位开关 + 软件限位 |
| 线缆管理 | 高柔性拖链线缆,可定制长度 |
| 环境要求 | 洁净室兼容(ISO Class 1),无尘无油 |
| 可选升级 | 真空版本、恒温冷却板、多轴集成 |
典型应用
生命科学成像
支持高分辨率显微成像、共聚焦显微镜和多光子显微镜的样本自动扫描,保证长时间成像的稳定性与重复性。
半导体晶圆检测
适用于晶圆图案比对、缺陷检测和 MEMS 器件测试,提供纳米级定位精度和高通量运动能力。
精密计量与测量
用于光学测量、坐标测量机(CMM)和干涉仪中的样本精密定位与扫描运动。
激光加工与微纳制造
应用于激光直写、飞秒激光微加工和光刻机中的精密工件台定位与轨迹控制。
自动化光学检测(AOI)
支持 PCB、显示屏和精密零件的高通量自动光学检测,满足高速步进与稳定成像的需求。
OEM 仪器集成
紧凑的结构设计使其易于集成到医疗设备、科研仪器和工业自动化设备中,提供完整的运动控制解决方案。
关于元锤
元锤(One Hammer Tech)是 Dover Motion 在中国地区的授权合作伙伴,专注于精密运动控制领域的技术推广、产品销售、系统集成与技术支持。依托多年的行业经验和技术积累,我们为生命科学、半导体、精密制造、科研仪器等领域的客户提供从单轴定位平台到多轴复杂运动系统的完整解决方案。
我们不仅提供标准产品的选型咨询和采购服务,还可根据客户的特殊需求进行定制化开发与集成。如需了解更多产品信息或获取详细技术资料,请访问我们的产品目录或直接联系我们获取一对一技术支持。
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