产品概述
AB 系列气浮平台 是元锤合作品牌 Dover Motion 推出的 AB 系列气浮定位平台，采用空气轴承导向技术，通过高压气体在导轨与滑座之间形成微米级气膜，实现了真正意义上的零摩擦、零磨损直线运动。该系列是 Dover Motion 产品线中精度等级最高的定位平台之一，提供 300 mm 的有效行程，定位精度可达 ±0.3 µm，重复定位精度 ±0.05 µm，最大运动速度 2000 mm/s，是半导体晶圆检测、超精密加工和尖端科研仪器的理想运动控制解决方案。
空气轴承技术利用高压气体在运动表面之间形成极薄的气体润滑膜，消除了固体接触产生的摩擦、磨损和颗粒污染问题。AB 系列气浮平台由此实现了近乎完美的运动平滑性、极低的运动抖动和超长的使用寿命。平台整体满足 ISO Class 1 洁净室要求，特别适合对洁净度和运动质量要求极高的先进制造和科研应用。元锤作为 Dover Motion 在中国区的授权合作伙伴，为高端用户提供气浮定位平台的选型和技术支持服务。
产品特点
1. 零摩擦空气轴承导向
采用多孔介质空气轴承技术，在导轨和滑座之间形成稳定均匀的气膜，实现完全非接触的导向运动。零摩擦特性消除了所有因接触产生的定位误差和运动抖动。
2. 亚微米级超高定位精度
实现了 ±0.3 µm 的定位精度和 ±0.05 µm 的重复定位精度，满足半导体制造中最苛刻的晶圆检测和光刻对准精度要求。
3. 超高速运动能力
最高速度可达 2000 mm/s，空气轴承的超低摩擦特性使得平台在高速运动中依然保持极高的运动平稳性和定位精度。
4. 无颗粒污染
零接触运动不产生任何摩擦颗粒，完全满足半导体制造、平板显示和生物医药等行业的洁净室环境要求（ISO Class 1）。
5. 超高运动平面度
空气轴承的气膜平均效应自动补偿导轨的微观不平度，实现了极高的运动直线度和平面度，在全行程范围内保持优异的运动质量。
6. 长寿命免维护
非接触运动无机械磨损，理论上具有无限的使用寿命。无需定期更换磨损部件，大幅降低了长期运维成本。
型号与技术参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 有效行程 | 300 mm |
| 定位精度 | ±0.3 µm |
| 重复定位精度 | ±0.05 µm |
| 编码器分辨率 | 0.01 µm |
| 最大速度 | 2000 mm/s |
| 最大加速度 | 20 m/s² |
| 最大负载 | 15 kg |
| 导向方式 | 多孔介质空气轴承 |
| 驱动方式 | 无铁芯直线电机直驱 |
| 反馈方式 | 激光干涉仪 / 光栅编码器 |
| 气源要求 | 0.5 ~ 0.7 MPa 洁净干燥压缩空气 |
| 洁净等级 | ISO Class 1 |
关于元锤
元锤（One Hammer Tech）是 Dover Motion 在中国地区的授权合作伙伴，专注于精密运动控制领域的技术推广、产品销售、系统集成与技术支持。依托多年的行业经验和技术积累，我们为生命科学、半导体、精密制造、科研仪器等领域的客户提供从单轴定位平台到多轴复杂运动系统的完整解决方案。
我们不仅提供标准产品的选型咨询和采购服务，还可根据客户的特殊需求进行定制化开发与集成。如需了解更多产品信息或获取详细技术资料，请访问我们的产品目录或直接联系我们获取一对一技术支持。
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