美国 Beam Imaging Spiricon 系列光束分析相机是专为紫外波段高分辨率激光光束诊断设计的科学级光束分析成像系统,属于 Beam Imaging 激光光束分析产品系列。Spiricon 采用紫外增强型 CCD 或 CMOS 传感器,在 190-1100nm 宽光谱范围内保持高量子效率,像素尺寸低至 3.45μm,可精确捕获激光的近场和远场光强分布。该系列相机支持连续和脉冲激光的实时剖面显示、光束直径和质心位置测量,配合 BeamGage 软件完成 ISO 11146 M2 因子全自动分析,适用于准分子激光器、DPSS 紫外激光器和飞秒激光系统的光斑质量定量评估。
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