美国 Beam Imaging 激光光轴对准系统 光学系统装调辅助

美国 Beam Imaging 激光光轴对准系统是专为复杂光学系统中多光束自动准直和光轴引导对准设计的集成化激光光束引导平台，属于 Beam Imaging 光学装调产品系列。该系统利用内置位置敏感探测器和电动反射镜构成闭环反馈，可自动将激光光束引导至目标光学器件的预设位置和角度，对准精度优于 1μm 和 1μrad。该系统适用于多光路耦合对准、光刻机物镜装调和大型激光器腔镜系统调试，显著降低手动光学装调的时间成本和人为误差。