Applied Motion LMS-100 直线电机运动平台采用无铁心 U 型直线电机直接驱动，无背隙、响应快。内置高精度光学编码器（分辨率 0.1 µm），重复定位精度 ±0.5 µm。行程 100-1000 mm 可选。
技术规格
| 驱动方式 | 无铁心 U 型直线电机 |
| 编码器分辨率 | 0.1 µm |
| 重复定位精度 | ±0.5 µm |
| 行程 | 100 / 200 / 500 / 1000 mm |
产品应用
- 半导体晶圆检测与对准定位
- 精密激光微加工工作台
- 光学检测系统中的扫描平台
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联系方式
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