Alesa SYRUS箱式镀膜系统是专为精密光学工业镀膜设计的多功能沉积平台，支持蒸发和溅射两种镀膜方式。最大基片尺寸直径800mm，配备全自动工艺控制和膜厚监控系统。支持离子辅助沉积（IAD），膜层致密度高、折射率稳定。适用于大规模光学元件镀膜生产。
| 参数 | 规格/描述 |
|---|---|
| 最大基片尺寸 | 直径800 mm |
| 镀膜方式 | 蒸发 + 溅射 (双模式) |
| 辅助方式 | 离子辅助沉积 (IAD) |
| 控制 | 全自动工艺控制 + 膜厚监控 |
产品应用
- 工业级光学元件增透膜和反射膜批量镀膜
- 窄带滤光片和截止滤光片精密膜系制备
- 光通讯WDM滤光片多层介质膜沉积
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联系方式
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