Alesa OMS-5000光学膜厚监控系统采用高速宽光谱检测技术，光谱范围350-1700nm，测量速度>50Hz。内置FPGA实时信号处理，支持透射式和反射式两种监控模式。集成膜系设计反向工程和自动停镀控制，膜厚控制精度<0.1%。可同步监控最多12个不同波长通道。
| 参数 | 规格/描述 |
|---|---|
| 光谱范围 | 350-1700 nm (扩展型) |
| 测量速度 | >50 Hz |
| 监控模式 | 透射 / 反射 双模式 |
| 通道数 | 最多12通道同步监控 |
产品应用
- 高精度多层膜系实时膜厚监控与停镀控制
- 窄带带通滤光片峰值波长精确控制
- 批量生产中的膜层厚度一致性自动管理
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联系方式
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