瑞士 alesa Cosmos Optical Monitoring System (OMS) 光学膜厚监控系统

Alesa Cosmos光学监控系统(OMS)基于宽光谱透射/反射实时监控原理,波长范围350-1100nm(可扩展至1700nm)。测量速率>20Hz,光谱分辨率<1nm,可精确监控薄膜生长过程中的膜厚变化。集成专业膜层设计软件,支持自动停镀和反向工程分析。

参数 规格/描述
光谱范围 350-1100 nm (可扩展1700 nm)
测量速率 >20 Hz
光谱分辨率 <1 nm
检测方式 透射 / 反射实时监控

产品应用

  1. 多层光学薄膜镀膜过程中的膜厚实时监控
  2. 窄带滤光片和分色镜膜系精确停镀控制
  3. 薄膜沉积工艺开发与反向工程分析

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联系方式

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