比利时 Xeryon XLS 系列微型压电线性滑台 精密定位方案

比利时 Xeryon XLS 系列微型压电线性滑台是专为精密定位设计的超紧凑纳米位移台产品线。包含单轴（XLS-1）和三轴（XLS-3）两大子系列，行程范围 30–80 µm，均采用超声波压电电机驱动技术。XLS 系列滑台零背隙、无电磁干扰、纳米级定位精度，广泛应用于精密光学对准、显微镜载物台、光纤耦合、半导体检测及科研仪器。

【元锤 OneHammer】—— 比利时 Xeryon（赛瑞昂）授权合作伙伴
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