产品概述
VACOM MeTraVaC-Linear-Manipulator 真空线性操纵器 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空线性操纵器产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空线性操纵器作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空线性操纵器选型、技术支持和采购服务。
VACOM MeTraVaC-Linear-Manipulator 真空线性操纵器 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 精密线性运动：采用高精度导轨与丝杠传动，定位精度达 0.1 mm
- 长行程设计：提供 100 mm 至 1000 mm 多种行程规格
- 真空兼容：全密封波纹管设计，可在 UHV 环境下稳定运行
- 多种驱动：支持手动、步进电机和伺服电机驱动方式
- 负载能力强：支持最大 5 kg 的末端负载
- 可选配附件：可加装编码器、限位开关、加热带等附件
可选型号
| 型号 | 行程 | 驱动方式 | 负载能力 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| MLM-100-M | 100 mm | 手动 | 2 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| MLM-300-M | 300 mm | 手动 | 3 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| MLM-300-E | 300 mm | 步进电机 | 5 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| MLM-500-E | 500 mm | 步进电机 | 5 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| MLM-1000-E | 1000 mm | 伺服电机 | 5 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar (UHV) |
| 定位精度 | ±0.1 mm（电动型） |
| 重复定位精度 | ±0.05 mm |
| 运动速度 | 0.1 ~ 10 mm/s（可调） |
| 温度范围 | -196°C ~ +250°C |
| 烘烤温度 | 最高 150°C（选配耐高温型可达 300°C） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L |
| 密封方式 | 边焊波纹管 / FKM 密封 |
典型应用
- 半导体制造：用于 PVD、CVD 腔体内的样品传输和定位
- 真空镀膜：镀膜腔体内的基片位移和掩膜对准操作
- 科学研究：表面分析系统中样品的精确移动和定位
- 粒子加速器：束流诊断探针的插入和收回运动
- 分析仪器：电子显微镜中的样品台传动机构
- 工业真空：真空炉内的物料传输和位置调整
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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