产品概述
VACOM CF-Flange 真空法兰组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空法兰组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空法兰组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空法兰组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM CF-Flange 真空法兰组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 超高真空密封：CF 法兰采用无氧铜金属密封垫圈，适用于 UHV 和 XHV 系统
- 烘烤耐受：支持最高 450°C 烘烤除气，满足超高真空系统的严格除气要求
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢制造，可重复使用
- 标准兼容：完全符合 ISO、DIN 等国际 CF 法兰标准
- 多种规格：提供 CF-DN16 至 CF-DN250 全系列规格
- 密封可靠：金属刀口密封结构，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
可选型号
| 型号 | 通径 | 外径 | 刀口内径 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| CF-DN16 | DN16 | 33 mm | 16 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CF-DN35 | DN35 | 50 mm | 35 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CF-DN40 | DN40 | 70 mm | 40 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CF-DN63 | DN63 | 91 mm | 63 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CF-DN100 | DN100 | 150 mm | 100 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CF-DN150 | DN150 | 200 mm | 150 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹² mbar (XHV) |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -269°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 450°C |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封方式 | 无氧铜金属密封垫圈 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 紧固螺栓 | M6 ~ M12 不锈钢螺栓组 |
典型应用
- 半导体制造：CF 法兰用于 PVD、CVD、刻蚀等超高真空设备的法兰连接
- 科学研究：超高真空和极高真空系统的法兰连接标配
- 粒子加速器：加速器束流管线超高真空系统的法兰接口
- 分析仪器：电子显微镜、质谱仪、XPS 等超高真空分析仪器
- 量子技术：量子计算和量子传感的超高真空容器密封
- 空间模拟：太空环境模拟舱的超高真空密封法兰
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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