产品概述
VACOM Edge Welded Bellows 边焊波纹管 是德国 VACOM 公司推出的高品质边焊波纹管产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。边焊波纹管作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的边焊波纹管选型、技术支持和采购服务。
VACOM Edge Welded Bellows 边焊波纹管 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高柔性补偿：多层薄壁金属片边缘焊接，提供优异的热变形和安装偏差补偿
- 长循环寿命：优化的波形设计，循环寿命超过 100 万次
- 超高真空兼容：全金属无弹性体结构，放气率极低，适用于 UHV/XHV
- 多种材料：提供 304L、316L、AM350 和 Hastelloy C-276 等多种材料
- 定制服务：可定制内径 6 mm 至 300 mm，长度和层数灵活配置
- 可选附件：可配套法兰、支撑环和外保护套等附件
可选型号
| 型号 | 内径 | 自由长度 | 层数 | 压缩量 |
|---|---|---|---|---|
| EWB-DN10-40 | 10 mm | 40 mm | 2 | 12 mm |
| EWB-DN16-60 | 16 mm | 60 mm | 2 | 18 mm |
| EWB-DN25-80 | 25 mm | 80 mm | 2 | 25 mm |
| EWB-DN40-100 | 40 mm | 100 mm | 3 | 30 mm |
| EWB-DN63-150 | 63 mm | 150 mm | 3 | 45 mm |
| EWB-DN100-200 | 100 mm | 200 mm | 4 | 60 mm |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 循环寿命 | > 1,000,000 次 |
| 温度范围 | -269°C ~ +450°C |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L / AM350 |
| 壁厚 | 0.1 ~ 0.3 mm/层 |
| 表面处理 | 电抛光 / 酸洗钝化 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：边焊波纹管用于真空机械手和阀门的运动密封
- 真空镀膜：镀膜设备运动机构的高柔性密封连接
- 科学研究：超高真空运动导入器的柔性密封元件
- 粒子加速器：束流管线柔性连接和振动隔离
- 分析仪器：电子显微镜精密机构的真空密封
- 低温系统：低温恒温器的热补偿柔性连接
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
相关资料
- VACOM 产品目录大全 — 浏览全系列产品
- 关于元锤 — 了解公司团队
- 联系我们 — 获取报价与技术支援
- 真空组件选型指南 — 快速选型
- 真空设计参考资料 — 技术资料汇总