产品概述
VACOM Vacuum Tees 三通真空管件 是德国 VACOM 公司推出的高品质三通真空管件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。三通真空管件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的三通真空管件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Vacuum Tees 三通真空管件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 三向连接：T 型三通结构实现真空管路的 T 型分支连接
- 标准兼容：完全符合 ISO 和 DIN 真空标准规范
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢制造，寿命长耐腐蚀
- 多种接口：提供 KF、CF、ISO-K 等多种法兰接口选项
- 多种规格：提供 DN10 至 DN250 全系列通径规格
- 精密制造：精密焊接和加工工艺，内表面光滑无死角
可选型号
| 型号 | 通径 | 接口标准 | 材料 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| TE-DN16-KF | DN16 | KF | 304L SS | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| TE-DN25-KF | DN25 | KF | 304L SS | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| TE-DN40-CF | DN40 | CF | 304L SS | ≤ 10⁻¹² mbar |
| TE-DN63-ISO | DN63 | ISO-K | 304L SS | ≤ 10⁻⁹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：三通管件用于真空管路的 T 型分支和汇合
- 真空镀膜：镀膜设备抽气管路的分支连接
- 科学研究：真空实验系统的侧向分支管道连接
- 分析仪器：真空管路的仪表采样接口分支
- 工业真空：真空系统的多分支管道连接
- 超高真空：UHV 系统的 CF 三通分支管路
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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