产品概述
VACOM KF-Viewport 真空视窗 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空视窗产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空视窗作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空视窗选型、技术支持和采购服务。
VACOM KF-Viewport 真空视窗 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 清晰观察：采用高品质光学玻璃或蓝宝石窗口，可见光透过率 > 90%
- 多种材料：提供石英玻璃、硼硅玻璃、蓝宝石等多种窗口材料选择
- KF 快装：KF 法兰快速安装，无需特殊工具即可装配
- 真空密封：金属或 FKM 密封结构，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 抗压设计：窗口可承受 1 个大气压的压差载荷
- 多种规格：提供 DN16 至 DN50 多种 KF 规格视窗
可选型号
| 型号 | 窗口材料 | 通径 | 可视直径 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| KF-VP-DN16-Q | 石英玻璃 | DN16 | 10 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| KF-VP-DN25-B | 硼硅玻璃 | DN25 | 18 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| KF-VP-DN40-S | 蓝宝石 | DN40 | 30 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| KF-VP-DN50-Q | 石英玻璃 | DN50 | 40 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：KF 视窗用于设备腔体观察，方便工艺监控和故障排查
- 真空镀膜：镀膜腔体外观察窗，实时监控镀膜过程
- 科学研究：实验腔体的视窗观察，支持光学测量和过程监测
- 分析仪器：配套光谱仪和显微镜设备的真空观察窗
- 工业设备：真空炉和真空干燥设备的视窗观察口
- 教学实验：实验室真空系统的可视化教学和演示
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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