产品概述
VACOM KF-CF-Adapter 真空连接组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空转接组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空转接组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空转接组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM KF-CF-Adapter 真空连接组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 双标准转接：KF 法兰与 CF 法兰之间的直接转接，无需中间过渡件
- 密封可靠：金属密封设计，可重复使用，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢制造
- 温度兼容：同时满足 KF 和 CF 的温度使用范围
- 多种规格：提供 KF-DN16 到 CF-DN40 等多种规格组合
- 紧凑设计：一体化结构，占用空间小，安装灵活
可选型号
| 型号 | KF 侧 | CF 侧 | 极限真空 | 烘烤温度 |
|---|---|---|---|---|
| KCA-DN16CF16 | KF-DN16 | CF-DN16 | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
| KCA-DN16CF35 | KF-DN16 | CF-DN35 | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
| KCA-DN25CF35 | KF-DN25 | CF-DN35 | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
| KCA-DN40CF40 | KF-DN40 | CF-DN40 | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：KF 快装系统与 CF 超高真空系统的转接连接
- 真空镀膜：镀膜设备不同法兰系统间的过渡连接
- 科学研究：实验室真空系统改造和设备兼容性连接
- 分析仪器：不同接口标准的分析仪器互联
- 超高真空：CF 侧用于 UHV 环境，KF 侧连接前级真空系统
- 设备升级：旧系统改造和新设备集成时的接口转换
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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