产品概述
VACOM Fiber-Optic-Feedthrough 真空馈通组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质光纤真空馈通件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。光纤真空馈通件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的光纤真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Fiber-Optic-Feedthrough 真空馈通组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 低损耗传输：采用高性能光纤连接器，插入损耗 < 0.5 dB
- 多种光纤类型：支持单模、多模光纤，适配不同波长和传输距离
- 高密封性：真空密封腔体设计，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 多通道选项：提供 1~12 通道光纤馈通选项
- 兼容性好：兼容 FC、SC、LC、ST 等标准光纤连接器接口
- 抗干扰：光纤传输不受电磁干扰，适用于强磁场环境
可选型号
| 型号 | 通道数 | 光纤类型 | 连接器 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| FO-FT-DN16-1S | 1 | 单模 | FC/PC | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| FO-FT-DN16-1M | 1 | 多模 | FC/PC | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| FO-FT-DN25-4S | 4 | 单模 | FC/SC | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| FO-FT-DN40-8M | 8 | 多模 | LC/SC | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| FO-FT-DN40-12 | 12 | 混合 | 定制 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 插入损耗 | < 0.5 dB |
| 回波损耗 | > 50 dB |
| 工作波长 | 850/1310/1550 nm |
| 温度范围 | -40°C ~ +250°C |
| 外壳材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 烘烤温度 | 最高 250°C |
典型应用
- 半导体制造：光纤馈通用于真空腔体内部的光学信号传输和检测
- 科学研究：超高真空环境下激光传输和光学传感信号的真空导入
- 粒子加速器：加速器真空管道中激光束的导入和导出
- 分析仪器：质谱仪和光谱仪的激光激发信号光纤传输
- 量子通信：量子密钥分发设备中光纤信号的真空穿越
- 等离子体诊断：核聚变和等离子体设备的激光诊断信号传输
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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