产品概述
VACOM Coaxial-Feedthrough 真空馈通组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质同轴真空馈通件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。同轴真空馈通件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的同轴真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Coaxial-Feedthrough 真空馈通组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高频传输：同轴结构支持射频和微波信号的真空导入，频率可达 40 GHz
- 特性阻抗匹配：50 Ω / 75 Ω 标准特性阻抗，保证信号完整性
- 低驻波比：优化的阻抗匹配设计，驻波比 < 1.2 @ 18 GHz
- 密封可靠：玻璃金属烧结工艺，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 多类型兼容：兼容 SMA、BNC、N 型、K 型等多种同轴连接器
- 宽频率范围：支持 DC 至 40 GHz 宽频带信号传输
可选型号
| 型号 | 连接器类型 | 频率范围 | 阻抗 | 法兰规格 |
|---|---|---|---|---|
| COX-FT-DN16-SMA | SMA | DC~18 GHz | 50 Ω | DN16 CF/KF |
| COX-FT-DN16-BNC | BNC | DC~4 GHz | 50/75 Ω | DN16 CF/KF |
| COX-FT-DN25-N | N 型 | DC~18 GHz | 50 Ω | DN25 CF |
| COX-FT-DN25-K | K 型(2.92mm) | DC~40 GHz | 50 Ω | DN25 CF |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 频率范围 | DC ~ 40 GHz（取决于型号） |
| 特性阻抗 | 50 Ω / 75 Ω |
| 驻波比 (VSWR) | < 1.2 @ 18 GHz |
| 插入损耗 | < 0.5 dB |
| 温度范围 | -55°C ~ +250°C |
| 外壳材料 | 不锈钢 304L / 可伐合金 |
典型应用
- 半导体制造：同轴馈通用于等离子体刻蚀腔体的射频电源馈入
- 科学研究：超高真空环境下射频和微波信号的传输
- 粒子加速器：加速腔射频信号的导入和反馈信号输出
- 通信测试：真空环境中的高频信号完整性测试
- 分析仪器：核磁共振和电子自旋共振设备的信号馈入
- 等离子体诊断：等离子体参数的射频诊断信号传输
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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