产品概述
VACOM CASSINI-CVS-3-1A10-3012 真空测量与控制设备 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空测量模块产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空测量模块作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空测量模块选型、技术支持和采购服务。
VACOM CASSINI-CVS-3-1A10-3012 真空测量与控制设备 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 电容薄膜技术：成熟可靠的电容薄膜真空测量技术，重复性好
- 紧凑型设计：紧凑机身节省安装空间，适合集成于复杂系统
- 高精度：满量程精度 ±0.3%，满足大多数工业应用需求
- 耐腐蚀：膜片和接液部件采用耐腐蚀合金材料
- 多样输出：同时提供模拟电压和数字通讯接口
- 易于集成：标准法兰接口和电气接口，即插即用
可选型号
| 型号 | 量程 | 精度 | 法兰 | 输出信号 |
|---|---|---|---|---|
| CVS-3-1A10-3012 | 1×10⁻⁴ ~ 10 mbar | ±0.3% FS | DN40 CF/KF | 0~10 V |
| CVS-3-1B10-3012 | 1×10⁻³ ~ 100 mbar | ±0.3% FS | DN40 KF | 0~10 V |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量范围 | 1×10⁻⁴ ~ 100 mbar（取决于型号） |
| 测量精度 | ±0.3% 满量程 |
| 响应时间 | < 50 ms |
| 膜片材料 | 不锈钢 / Inconel |
| 法兰接口 | DN40 CF / KF |
| 输出信号 | 0~10 V DC |
| 电源要求 | 20~30 V DC |
| 工作温度 | 0°C ~ +50°C |
典型应用
- 真空镀膜：镀膜设备真空度的在线监测与控制
- 科学研究：实验装置的真空度实时测量
- 工业真空：真空炉和干燥设备的真空度检测
- 分析仪器：配套分析设备的真空测量
- 自动化产线：批量生产线的真空度自动监控
- 半导体：一般半导体工艺腔体的真空度测量
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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