产品概述
VACOM Traps & Filters 真空捕集器与过滤器 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空捕集器与过滤器产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空捕集器与过滤器作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空捕集器与过滤器选型、技术支持和采购服务。
VACOM Traps & Filters 真空捕集器与过滤器 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高效捕集：采用多层过滤和冷凝捕集技术，颗粒捕集效率达 99.99%
- 多种类型：提供冷阱、吸附阱、过滤器等多种类型，适配不同应用
- 低流阻设计：优化的流道设计，系统压降低于 5 mbar
- 优质材料：不锈钢主体，可选耐腐蚀涂层或特殊合金
- 可维护设计：滤芯和捕集元件可更换，延长系统使用寿命
- 多种接口：兼容 KF、ISO-K、CF 等多种法兰接口标准
可选型号
| 型号 | 类型 | 接口 | 捕集/过滤方式 | 适用真空 |
|---|---|---|---|---|
| TR-DN25-COLD | 冷阱 | DN25 KF | 液氮冷凝 | ≤ 10⁻⁷ mbar |
| TR-DN40-SORB | 吸附阱 | DN40 KF | 活性氧化铝 | ≤ 10⁻⁷ mbar |
| TF-DN40-PART | 颗粒过滤器 | DN40 KF | 不锈钢滤网 | ≤ 10⁻⁴ mbar |
| TF-DN63-OIL | 油雾过滤器 | DN63 ISO-K | 凝聚式过滤 | ≤ 10⁻⁴ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻⁷ mbar（取决于类型） |
| 过滤效率 | ≥ 99.99%（颗粒过滤器） |
| 捕集容量 | 依型号有所不同 |
| 温度范围 | -196°C ~ +250°C |
| 主体材料 | 不锈钢 304L |
| 密封材料 | FKM / 金属密封 |
| 接口类型 | KF / ISO-K / CF |
| 可更换部件 | 滤芯 / 吸附剂 / 捕集元件 |
典型应用
- 半导体制造：真空泵前级保护，防止工艺副产物进入泵体
- 真空镀膜：捕集镀膜过程的未沉积材料和颗粒物
- 科学研究：保护超高真空系统免受前级泵油蒸汽污染
- 分析仪器：质谱仪前级真空系统的洁净度保障
- 工业真空：真空炉和干燥设备真空系统的颗粒过滤
- 化工工艺：腐蚀性和反应性气体的真空系统安全过滤
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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