产品概述
VACOM AluVaC 铝制真空组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质铝制真空组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。铝制真空组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的铝制真空组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM AluVaC 铝制真空组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 轻量化设计：铝合金主体大幅减轻重量，比不锈钢减重约 60%
- 导热优良：铝合金导热系数是不锈钢的 15 倍，热管理更高效
- 无磁特性：铝合金无磁性，适用于对磁场敏感的实验环境
- 耐腐蚀：阳极氧化处理表面，耐腐蚀性能优异
- 成本优势：相比不锈钢组件，铝合金件的制造成本更低
- 真空兼容：适用于高真空环境，泄漏率符合真空行业标准
可选型号
| 组件类型 | 材料牌号 | 表面处理 | 适用真空 | 特点 |
|---|---|---|---|---|
| AluVaC 法兰 | 6061-T6 | 阳极氧化 | ≤ 10⁻⁹ mbar | 轻量/无磁 |
| AluVaC 腔体 | 5083-H112 | 硬质氧化 | ≤ 10⁻⁹ mbar | 大尺寸/轻量 |
| AluVaC 管件 | 6063-T5 | 化学抛光 | ≤ 10⁻⁸ mbar | 轻量/低成本 |
| AluVaC 支架 | 6082-T6 | 阳极氧化 | N/A（大气侧） | 高刚性/轻量 |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻⁹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s |
| 温度范围 | -269°C ~ +200°C |
| 烘烤温度 | 最高 120°C |
| 主体材料 | 铝合金 6061-T6 / 5083 / 6082 |
| 表面处理 | 阳极氧化 / 硬质氧化 |
| 密封方式 | FKM / 无氧铜 |
| 重量优势 | 比不锈钢减重约 60% |
典型应用
- 科学研究：需要频繁拆装和搬动的真空实验装置
- 粒子加速器：无磁真空组件用于束流诊断设备
- 分析仪器：电子显微镜和质谱仪的轻量级真空组件
- 移动设备：便携式真空系统和可移动实验装置
- 低温系统：利用铝合金优异导热性的低温真空设备
- 快速原型：科研原型验证阶段的快速低本真空组件
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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