产品概述
VACOM Cleanroom Vacuum Components 洁净室真空组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质洁净室真空组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。洁净室真空组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的洁净室真空组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Cleanroom Vacuum Components 洁净室真空组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 洁净室适配：专为洁净室环境开发的真空组件系列，符合 ISO 洁净室标准
- 低颗粒产生：所有组件均经过特殊设计，最小化运行过程中的颗粒产生
- 严格清洁：出厂前经过 Class 3 或 Class 4 真空清洁处理
- 真空包装：组件在洁净室内进行真空密封包装，确保现场开箱即用
- 材料兼容：选用低放气率、耐化学腐蚀的洁净级材料
- 全系列覆盖：涵盖法兰、阀门、管件、馈通件等全系列真空组件
可选型号
| 组件类型 | 洁净等级 | 材料 | 表面处理 | 包装 |
|---|---|---|---|---|
| 法兰/管件 | Class 3/4 | 304L SS | 电抛光 | 真空密封 |
| 阀门 | Class 3 | 316L SS | 胶体抛光 | 真空密封 |
| 馈通件 | Class 3/4 | 304L SS | 电抛光 | 真空密封 |
| 视窗 | Class 3 | SS + 玻璃 | 精密清洁 | 真空密封 |
| 波纹管 | Class 3 | 316L SS | 电抛光 | 真空密封 |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 洁净等级 | ISO Class 4 ~ ISO Class 7 |
| 真空清洁 | VACOM Purity Class 3 / Class 4 |
| 表面粗糙度 | Ra < 0.5 μm |
| 颗粒控制 | < 10 颗/cm²（≥ 0.3 μm） |
| 材料 | 304L / 316L 不锈钢 |
| 包装方式 | 真空密封充氮包装 |
典型应用
- 半导体制造：洁净室环境中晶圆传输和工艺设备的真空系统组件
- FPD 制造：平板显示器制造洁净室的真空组件需求
- 生物医药：药品生产和生物实验室的洁净真空系统
- 精密仪器：高精密仪器的洁净真空组件配套
- 光学镀膜：光学镀膜洁净室的真空系统组件
- 科研实验室：需洁净环境的真空实验系统
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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