产品概述
VACOM MeTraVaC Mechanical Transfer Components 机械传输真空组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质机械传输真空组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。机械传输真空组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的机械传输真空组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM MeTraVaC Mechanical Transfer Components 机械传输真空组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 精密运动传输：采用模块化设计，支持线性、旋转和复合运动的真空传输
- 超高真空兼容：全密封波纹管和磁耦合技术，适用于 UHV 环境
- 多种配置：提供直线运动、旋转运动和多轴复合运动多种配置选项
- 高负载能力：支持最大 10 kg 的负载传输
- 定位精度高：配合步进电机和编码器，定位精度可达 0.01 mm
- 可定制化：行程长度、负载能力和接口可按照客户需求定制
可选型号
| 型号 | 运动类型 | 行程/角度 | 负载 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| MTV-L100 | 线性 | 100 mm | 3 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| MTV-L300 | 线性 | 300 mm | 5 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| MTV-R360 | 旋转 | 360° 连续 | 2 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| MTV-XY100 | XY 轴 | 100×100 mm | 3 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| MTV-ZR100 | 旋转+升降 | 100 mm + 360° | 5 kg | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 定位精度 | ±0.01 mm（线性）/ ±0.01°（旋转） |
| 重复定位精度 | ±0.005 mm |
| 运动速度 | 0.1 ~ 20 mm/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +250°C |
| 主体材料 | 不锈钢 304L |
| 密封方式 | 边焊波纹管 / 磁耦合 |
| 驱动方式 | 手动 / 步进电机 / 伺服电机 |
典型应用
- 半导体制造：真空机械传输用于 PVD 和 CVD 腔体内的晶圆传输
- 真空镀膜：镀膜腔体内的基片传送和掩膜对准
- 科学研究：超高真空系统中的样品精确操作与定位
- 粒子加速器：束流诊断元件的真空插入和收回机构
- 分析仪器：电子显微镜中的样品传输和定位机构
- 工业真空：真空炉内的物料自动装载和卸料系统
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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