美国 University Wafer 提供的蓝宝石（Al₂O₃）衬底是 GaN 基 LED 和功率电子器件最广泛使用的异质外延基片。蓝宝石具有优异的透光性、化学稳定性和耐高温性能，C 面（0001）取向可匹配 GaN 外延生长。提供 2 英寸、4 英寸及 6 英寸双面抛光片，表面粗糙度 < 0.3 nm，适用于 MOCVD 外延工艺。
| 材料 | 蓝宝石（Al₂O₃，单晶） |
| 直径 | 2 英寸 / 4 英寸 / 6 英寸 |
| 晶向 | C面（0001）± 0.5° |
| 表面处理 | 双面抛光（CMP） |
| 表面粗糙度 | < 0.3 nm RMS |
| 翘曲度 | < 30 μm |
| TTV（总厚度偏差） | < 15 μm |
| 品牌 | University Wafer（美国） |
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