日本 Universe Kogaku 紫外石英透镜组 193nm 光刻照明 高纯熔融石英
日本 Universe Kogaku 紫外石英透镜组 193nm 光刻照明 高纯熔融石英 是一款专为深紫外光刻照明系统准直、晶圆缺陷检测紫外成像、激光微加工紫外光路设计的高性能产品。Universe Kogaku UV Fused Silica Lens Set 凭借其优异的技术指标和稳定的运行表现，广泛应用于各类专业场景。元锤 OneHammer 作为Universe Kogaku在中国的重要合作伙伴，提供该产品的选型咨询、技术支持和进口采购服务。
技术规格
| 工作波长 | 193/248/365 nm |
| 材料 | 合成熔融石英JGS1 |
| 透过率 | >90% @193nm |
| 直径 | 25.4-75 mm可选 |
| 表面质量 | 40-20 S/D |
| 用途 | 深紫外光刻照明系统准直、晶圆缺陷检测紫外成像、激光微加工紫外光路 |
产品概述
日本 Universe Kogaku UV Fused Silica Lens Set 融合了先进的设计理念和精密的制造工艺，在深紫外光刻照明系统准直、晶圆缺陷检测紫外成像、激光微加工紫外光路方面表现出色。该产品具备精度高、响应快、可靠性好等突出特点。Universe Kogaku凭借在该领域多年的技术积累，确保产品性能始终处于行业领先水平。
该产品适用于深紫外光刻照明系统准直、晶圆缺陷检测紫外成像、激光微加工紫外光路，其设计充分考虑了实际应用中的各种工况需求，可满足关键性能指标要求。产品出厂前经过严格的质量检验和性能测试，确保每台设备均达到预期的技术标准。