美国 Thermionics UHV Gate Valve 超高真空阀门 真空系统控制

美国 Thermionics UHV Gate Valve 超高真空闸阀采用全金属或 Viton 密封设计,可承受 1 × 10⁻¹⁰ Torr 至大气压的宽压力范围。手动或气动驱动可选,配备位置指示器和限位开关。适用于超高真空系统隔离、样品传送腔体分隔以及镀膜系统腔室间的高可靠性通断控制。

型号 UHV Gate Valve
真空等级 ≤ 1 × 10⁻¹⁰ Torr(全金属密封)
通径 DN 40 – DN 250(1.5″ – 10″)
驱动方式 手动 / 气动
密封材质 全金属 / Viton(可选)
工作温度 -20°C – 150°C(Viton)/ 300°C(全金属)
法兰标准 CF / ISO-K / ISO-F
品牌 Thermionics(美国)

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