电子束蒸发枪 薄膜沉积

美国 Thermionics 电子束蒸发枪是专为高真空薄膜沉积系统设计的高功率电子束蒸发源,加速电压 6-10kV,束流 0-500mA,坩埚容量 4-6 穴。

产品数据表

品牌 Thermionics
国家 美国
产品类型 真空组件
主要功能 电子束蒸发和UHV馈通
典型用途 真空镀膜和表面分析

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