美国 Thermionics UHV-300 超高真空闸阀 气动

Thermionics UHV-300 超高真空闸阀采用全金属密封结构,可承受200°C烘烤温度。气动驱动设计适合真空系统的自动化隔离控制。

口径 DN40/DN63/DN100 CF法兰
密封方式 全金属 (无弹性体)
烘烤温度 ≤200°C
驱动 气动 (5~8 bar) 带位置指示

产品应用

  • 适用于UHV镀膜系统的主隔离阀
  • 可用于真空互联系统的腔室间隔离
  • 配合真空计联锁实现系统安全保护

联系方式

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