Thermionics EG-5000 多坩埚电子枪支持最多 6 个坩埚位，可在不破坏真空的条件下切换蒸发材料。适用于分子束外延（MBE）与薄膜多层镀膜工艺。元锤 OneHammer 提供选型咨询与进口采购服务。
| 坩埚数量 | 4~6 位（可选） |
| 加速电压 | 5~10 kV |
| 最大束流 | 200 mA |
| 适用真空度 | ≤ 5×10⁻⁹ Torr |
产品应用
- 适用于 MBE 外延生长中的多源切换蒸发
- 可用于光学薄膜的交替镀膜工艺
- 配合石英晶振膜厚仪实现精确膜厚控制
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联系方式
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