美国 Thermionics 离子泵(Ion Pump),溅射型(Noble/Diode/StarCell)自持超高真空。抽速10-500L/s。极限压力<1×10⁻¹⁰mbar。全金属密封无振动无油免维护。配高压电源。适用于UHV腔体达到高真空后维持超高真空(<1×10⁻⁹mbar)—离子泵是终极级真空维持主力、扫描探针/电子显微镜洁净无振动泵送以消除机械泵电磁干扰以及加速器和粒子束线局部插入式离子泵维持良好真空。
| 品牌 | Thermionics |
| 国家 | 美国 |
| 型号 | Ion Pump |
| 抽速 | 10-500L/s |
| 极限 | <1×10⁻¹⁰mbar |
| 类型 | Noble/Diode/StarCell |
| 特点 | 无油/无振动/免维护 |
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