美国 Thermionics UHV传样杆（Sample Manipulator/Transfer Rod），线性行程100-1000mm，旋转360°连续，XY偏移±25mm。极限真空<1×10⁻¹⁰Torr。波纹管（柔性密封）或磁性耦合（无动密封）密封方式。末端样品台加热/冷却/偏压。适用于MBE分子束外延系统中衬底从load-lock到生长腔室的全自动机械手传样、XPS/UPS/STM/AES表面分析腔体样品真空传送—避免暴露大气以及超高真空薄膜沉积腔体蒸发源和样品台之间定位调节。
| 品牌 | Thermionics |
| 国家 | 美国 |
| 型号 | UHV Manipulator |
| 线性行程 | 100-1000mm |
| 旋转 | 360° |
| 真空 | <1×10⁻¹⁰Torr |
| 密封 | 波纹管/磁耦合 |
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