美国 Thermionics 真空腔体(UHV Chamber),304L/316LN不锈钢,电抛光+真空退火。CF法兰接口DN16-DN250,视窗/馈通/阀门按需集成。泄漏率<1×10⁻¹⁰mbar·L/s。达到极限压力<1×10⁻¹¹mbar(经250°C烘烤)。适用于MBE/PLD/溅射薄膜系统主腔和Load-lock腔体定制加工、表面分析集成系统(XPS/AES/STM组合)多级互联腔体串接以及极高真空研究/量子物理低温探针台真空腔体。
| 品牌 | Thermionics |
| 国家 | 美国 |
| 型号 | UHV Chamber |
| 材料 | 304L/316LN不锈钢 |
| 法兰 | CF16-DN250 |
| 泄漏率 | <1×10⁻¹⁰mbar·L/s |
| 极限压力 | <1×10⁻¹¹mbar |
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