法国 Tekceleo Wavelling WM10 压电电机 真空环境运动

法国 Tekceleo Wavelling® WM10 压电超声波电机专为真空环境精密运动控制设计。采用渐进波驱动原理，WM10 在真空条件下保持稳定性能，提供高扭矩低转速直接驱动。零背隙设计确保微米级重复定位精度，零功率保持扭矩特性可在真空腔体内断电锁定位置。无磁性结构兼容电子束和离子束设备。适用于真空镀膜、电子显微镜样品台、半导体真空工艺等场景。ISO 9001 认证。