美国Pave Technology LM-100线性运动真空馈入装置可将外部直线运动精确传递到真空腔内而不破坏真空环境。采用波纹管密封技术，提供平滑稳定的线性运动。行程可定制，适用于真空环境下的样品台调节、挡板控制、探针定位等应用。
| 型号 | LM-100 |
| 真空等级 | 最高 10⁻¹⁰ Torr |
| 行程 | 10~300 mm（可选） |
| 运动精度 | ±0.1 mm |
| 轴向负载 | 最大 50 N |
| 驱动方式 | 手动旋钮 / 步进电机 |
| 漏率 | < 1×10⁻¹⁰ atm·cc/s He |
| 安装法兰 | CF35 / CF63 / ISO-K |
| 烘烤温度 | 最高 250°C |
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