美国 Pave Technology 高压馈通(HV Feedthrough)额定电压5-30kV DC,导体直径2-10mm。高纯度氧化铝陶瓷绝缘体与可伐合金封装,沿面放电距离按需要设计长度。漏率<1×10⁻¹⁰ He。适用于真空管内电子枪/离子源阳极/栅极高压(1-30kV)引入真空室供电、离子注入/粒子加速器高压电极的高压馈入满足真空和绝缘双重要求以及CVD/PECVD等离子体反应室RF匹配高频高压馈入和偏置HV穿墙。
| 品牌 | Pave Technology |
| 国家 | 美国 |
| 类型 | 高压馈通 |
| 电压 | 5-30kV DC |
| 绝缘 | 高纯氧化铝陶瓷 |
| 漏率 | <1×10⁻¹⁰ |
| 应用 | 电子枪/离子源/加速器 |
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