美国Pave Technology VF-200真空馈入装置(Feedthrough)专为真空环境下的电信号和电力传输设计。采用金属-陶瓷密封工艺,满足高真空和超高真空应用需求。提供多种引脚配置和连接器选项,适用于真空镀膜、表面分析、半导体制造和粒子物理实验等场景。
| 型号 | VF-200 |
| 真空等级 | 最高 10⁻¹¹ Torr(UHV) |
| 引脚数量 | 2~50 芯(可选) |
| 电流容量 | 最大 100 A/芯 |
| 电压等级 | 最大 10 kV |
| 漏率 | < 1×10⁻¹⁰ atm·cc/s He |
| 材质 | 不锈钢 / 陶瓷 / 可伐合金 |
| 密封工艺 | 金属-陶瓷钎焊 |
| 烘烤温度 | 最高 450°C |
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