美国 Pave Technology 真空馈入装置 VF-200 真空环境信号传输

美国Pave Technology VF-200真空馈入装置(Feedthrough)专为真空环境下的电信号和电力传输设计。采用金属-陶瓷密封工艺,满足高真空和超高真空应用需求。提供多种引脚配置和连接器选项,适用于真空镀膜、表面分析、半导体制造和粒子物理实验等场景。

型号 VF-200
真空等级 最高 10⁻¹¹ Torr(UHV)
引脚数量 2~50 芯(可选)
电流容量 最大 100 A/芯
电压等级 最大 10 kV
漏率 < 1×10⁻¹⁰ atm·cc/s He
材质 不锈钢 / 陶瓷 / 可伐合金
密封工艺 金属-陶瓷钎焊
烘烤温度 最高 450°C

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