美国 Pave Technology 高压馈通 HV Feedthrough 5-30kV DC 绝缘陶瓷 真空/高压互锁

美国 Pave Technology 高压馈通(HV Feedthrough)额定电压5-30kV DC,导体直径2-10mm。高纯度氧化铝陶瓷绝缘体与可伐合金封装,沿面放电距离按需要设计长度。漏率<1×10⁻¹⁰ He。适用于真空管内电子枪/离子源阳极/栅极高压(1-30kV)引入真空室供电、离子注入/粒子加速器高压电极的高压馈入满足真空和绝缘双重要求以及CVD/PECVD等离子体反应室RF匹配高频高压馈入和偏置HV穿墙。

品牌 Pave Technology
国家 美国
类型 高压馈通
电压 5-30kV DC
绝缘 高纯氧化铝陶瓷
漏率 <1×10⁻¹⁰
应用 电子枪/离子源/加速器

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