产品概述
Logosol LPA Series 是美国 Logosol 推出的晶圆预对准器产品系列，涵盖独立式、嵌入式、边缘接触式和快速更换式等多种类型，全面覆盖 2 英寸到 18 英寸晶圆规格。LPA 系列采用光学边缘检测技术，可实现高精度、高效率的晶圆对位操作，广泛应用于半导体前道和后道工艺设备。
核心特点
- 多型号覆盖：提供独立式、嵌入式、边缘接触式、快速更换式等多种安装方式
- 宽范围晶圆支持：覆盖 2 英寸（50 mm）至 18 英寸（450 mm）全系列晶圆规格
- 高精度对位：采用光学边缘检测技术，对位精度可达 ±0.1 mm
- 高速对位效率：优化的运动控制算法，单次对位时间可低至 2 秒
- 工业通信兼容：支持 EtherCAT、RS-232、数字 I/O 等多种通信接口
- 洁净室认证：所有型号均满足 Class 10（ISO 4）洁净室标准
型号规格
| 型号 | 适用晶圆 | 对位精度 | 检测方式 | 安装方式 | 通信接口 |
|---|---|---|---|---|---|
| LPA26-3/LPA25-1E | 2-6 英寸 | ±0.1 mm | 光学边缘检测 | 独立式/嵌入式 | EtherCAT, RS-232 |
| LPA38-3/LPA38-1E | 3-8 英寸 | ±0.1 mm | 光学边缘检测 | 独立式/嵌入式 | EtherCAT, RS-232 |
| LPA58-3/LPA58-1E | 5-8 英寸 | ±0.1 mm | 光学边缘检测 | 独立式/嵌入式 | EtherCAT, RS-232 |
| LPA312-3/LPA312-1E | 3-12 英寸 | ±0.1 mm | 光学边缘检测 | 独立式/嵌入式 | EtherCAT, RS-232 |
| LPA812-3/LPA812-1E | 8-12 英寸 | ±0.1 mm | 光学边缘检测 | 独立式/嵌入式 | EtherCAT, RS-232 |
| LPA1218-3/LPA1218-1E | 12-18 英寸 | ±0.15 mm | 光学边缘检测 | 独立式/嵌入式 | EtherCAT, RS-232 |
| LPA12ET-3/LPA8ET-3 | 8-12 英寸 | ±0.1 mm | 光学边缘检测 | 边缘接触式 | EtherCAT, RS-232 |
| LPA12FS-3 | 12 英寸 | ±0.1 mm | 光学边缘检测 | 快速更换式 | EtherCAT, RS-232 |
通用参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 供电电压 | DC 24 V (±10%) |
| 对位方式 | 光学边缘检测 |
| 对位精度 | ±0.1 ~ ±0.15 mm |
| 晶圆规格 | 2-18 英寸（50-450 mm） |
| 洁净度等级 | Class 10 (ISO 4) |
| 工作温度范围 | 10 °C ~ +50 °C |
| 通信接口 | EtherCAT, RS-232, 数字 I/O |
| MTBF | ≥ 15,000 小时 |
典型应用
- 半导体前道设备的晶圆预对准与定位
- 晶圆检测与测量设备的自动对位系统
- 晶圆分选与打标设备的预对准工位
- 设备前端模块（EFEM）的晶圆对位
- 晶圆级封装与测试设备的对准系统
- 洁净室环境下的晶圆精密定位与传输
关于元锤
元锤是一家专注于进口工业仪器与自动化设备的技术服务商，致力于为中国半导体、精密制造和科研领域提供高品质的进口设备、选型咨询与技术支持服务。
作为美国 Logosol 在中国区域的授权合作伙伴，元锤为用户提供 Logosol 全系列产品的选型咨询、技术支持和售后保障。如需了解产品详情或获取报价，欢迎联系我们，或访问关于元锤页面了解更多信息。
