Logosol LPA1218-1E 是美国 Logosol 的嵌入式晶圆预对准器,可用于半导体设备内部晶圆对心、晶圆角度校准、晶圆定位和自动化搬运系统集成。适合半导体自动化设备内部集成应用。
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