产品概述
Tri-Axial-Accelerometer-Test-Tool 是元锤旗下专为半导体设备调试与振动分析设计的三轴振动测试工具。该产品可同时采集 X、Y、Z 三个轴向的加速度数据，适用于 300mm 半导体 FAB 中 E84 接口测试、AMHS 自动物料搬运系统验证、EFEM 设备调试以及 FOUP 交接过程的振动监测。通过对设备运行中的微小振动进行精确捕捉与量化分析，三轴振动测试工具能够帮助工程师快速识别机械异常、评估设备健康状况并优化运行参数。该工具采用紧凑便携设计，内置高灵敏度 MEMS 加速度传感器与高速数据采集模块，支持实时数据传输与离线记录两种工作模式。配合元锤配套的分析软件，用户可直观查看各轴向振动频谱、RMS 值与峰值趋势图，为设备预防性维护提供可靠的数据支撑。GCI06001 半导体自动化配套模块 可作为其数据采集后端，GCI04002 半导体自动化配套模块 则可扩展其通信通道。
产品特点
- 三轴同时采集：内置三通道高精度 MEMS 加速度传感器，支持 X、Y、Z 三轴同步采样，轴向正交偏差小于 0.5°，确保振动方向判定的准确性。
- 宽频响应范围：频率响应覆盖 0.5Hz 至 5kHz，兼顾低频结构振动与高频机械故障检测，适用于电机、轴承、导轨等多种振源分析。
- 高分辨率数据采集：最高 24 位 ADC 分辨率，加速度测量范围 ±2g 至 ±64g 可编程设定，最小分辨率可达 0.1mg，满足高精度测量要求。
- 便携易用设计：整机体积仅与移动电源相当，内置可充电锂电池续航超过 8 小时，支持 USB-C 接口充电与数据导出，无需外接电源适配器。
- 实时与离线双模式：支持 Bluetooth 5.0 无线实时传输与内部 32GB 存储离线记录两种工作模式，适应现场有线不便或长期监测等不同场景。
- 配套分析软件：提供 PC 端与移动端分析软件，支持时域波形、FFT 频谱、包络谱、趋势图等多种数据可视化方式，可一键生成测试报告。
型号参数表
| 参数项 | GCI-VIB100 | GCI-VIB200 | GCI-VIB300 |
|---|---|---|---|
| 轴向数 | 单轴（Z 向） | 双轴（X+Z） | 三轴（X+Y+Z） |
| 加速度量程 | ±16g | ±2g / ±4g / ±8g / ±16g 可编程 | ±2g / ±4g / ±8g / ±16g / ±32g / ±64g 可编程 |
| 频率响应 | 1Hz – 2kHz | 0.5Hz – 3kHz | 0.5Hz – 5kHz |
| ADC 分辨率 | 16 bit | 20 bit | 24 bit |
| 采样率（每轴） | 1.6kHz | 6.4kHz | 25.6kHz |
| 存储容量 | 8GB | 16GB | 32GB |
| 数据接口 | USB-C | USB-C / Bluetooth 4.2 | USB-C / Bluetooth 5.0 |
| 电池续航 | 6 小时 | 8 小时 | 8 小时 |
| 防护等级 | IP40 | IP54 | IP54 |
| 重量 | 120g | 180g | 220g |
通用技术参数
| 通用参数 | 规格 |
|---|---|
| 传感器类型 | MEMS 电容式加速度计 |
| 输出数据 | 加速度时域波形、FFT 频谱、RMS、峰值、波峰因子 |
| 触发模式 | 软件触发 / 电平触发 / 定时触发 |
| 数据格式 | CSV / TDMS / HDF5 |
| 工作温度 | -10°C 至 +60°C |
| 防护等级 | IP54（含便携箱） |
| 电源 | 内置锂电池 3.7V / 5000mAh，USB-C 5V 充电 |
| 附件 | 磁吸底座、三脚架安装螺孔、便携箱 |
典型应用场景
- 半导体 FAB 设备振动监测：对 300mm 晶圆厂内的 EFEM、Load Port、FOUP 开盖机构等关键设备进行振动测试，确保 FOUP 交接过程中晶圆安全无损伤。PI/O 光学通信收发器 可同步采集 E84 通信信号进行关联分析。
- AMHS 物料搬运系统验证：在天车（OHT）与存储设备（Stocker）之间测试振动水平，优化搬运速度与加减速曲线，降低因振动导致的晶圆破片风险。
- E84 接口机械兼容性测试：在 E84 接口插合与分离过程中测试振动冲击特性，结合 EMS E84 监测系统 判断接口卡顿或磨损状态。
- 旋转机械设备故障诊断：对电机、泵、风机等旋转设备进行振动频谱分析，识别轴承磨损、转子不平衡、对中偏差等早期故障。
- 结构共振分析：在设备安装与调试阶段进行模态测试，确认机械结构固有频率与工作频率之间是否存在共振风险。
- 产品质量一致性检查：在产线终端对组装完成的设备进行振动指纹测试，与标准模板比对，快速发现装配异常或零部件缺陷。
关于元锤 OneHammer Tech
元锤（OneHammer Tech）是专业的半导体 E84 通信测试设备供应商与技术服务机构，专注于 E84 接口测试、AMHS 物料搬运验证与 EFEM 设备调试解决方案。元锤坚持以专业选型建议、快速交付响应和持续售后支持为核心，为半导体晶圆厂、设备制造商和自动化集成商提供可靠的产品与技术服务。欢迎通过元锤官网了解更多产品详情与技术资讯。
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