## 产品介绍
德国FAE GmbH 推出的Piezo Nano是一款高性能压电纳米定位台 纳米级分辨率定位产品。该设备严格遵循德国工业制造标准，具有优异的可靠性和稳定性，适用于多种严苛应用场景。
### 主要特点
– 压电陶瓷直驱机构，无机械间隙，响应速度达毫秒级
– 纳米级分辨率，闭环定位精度可达亚纳米级别
– 内置高精度电容式或电感式位移传感器
– 可选单轴、XY二维及XYZ三维版本
– 兼容标准运动控制器及开环/闭环驱动
– 超紧凑结构设计，适合集成到精密系统中
### 技术规格
| 参数 | 规格 |
|——|——|
| 运动轴数 | 1轴/2轴/3轴可选 |
| 行程范围 | 20μm – 500μm |
| 闭环分辨率 | ≤ 0.5nm |
| 重复定位精度 | ±1nm |
| 谐振频率 | 空载500Hz – 2kHz |
| 最大推力 | 50N – 200N |
### 应用场景
FAE GmbH压电纳米定位台适用于扫描探针显微镜、纳米压印、光刻对准、光纤端面检测、细胞操控等高精度定位场景。其亚纳米级分辨率与毫秒级响应能力使其成为纳米技术研究和精密光学对准的理想选择。
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