## 产品介绍
德国FAE GmbH 推出的Multi-Axis XYZ/XYθ是一款高性能多轴精密位移台 精密对位系统产品。该设备严格遵循德国工业制造标准，具有优异的可靠性和稳定性，适用于多种严苛应用场景。
### 主要特点
– 采用高精度交叉滚柱导轨，运动平稳无爬行
– XYZ三轴及XYθ多自由度组合，灵活配置精密对位方案
– 标配闭环步进电机或伺服电机，定位精度可达±1μm
– 支持真空环境及洁净室应用定制
– 模块化设计，可快速搭建多轴运动系统
– 配套高性能运动控制器，支持EtherCAT通讯协议
### 技术规格
| 参数 | 规格 |
|——|——|
| 行程范围 | X/Y: 25-300mm, Z: 10-100mm, θ: ±15° |
| 定位精度 | ±1μm（闭环） |
| 重复定位精度 | ±0.3μm |
| 最大速度 | 200mm/s |
| 负载能力 | 水平10kg / 垂直3kg |
| 驱动方式 | 滚珠丝杠+伺服/步进电机 |
### 应用场景
FAE GmbH多轴精密位移台广泛适用于光电子封装、光纤对准、MEMS测试、晶圆检测、精密装配等场景。其XYZ/XYθ组合设计可满足多自由度精密对位需求，是半导体、光通信和精密制造领域的核心运动控制设备。
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