美国 Dover Motion SmartStage XYM 75×75 mm 一体式双轴直驱定位平台

产品概述

SmartStage XYM 75×75 mm 一体式双轴直驱定位平台 是元锤合作品牌 Dover Motion 推出的 SmartStage XYM 一体式双轴直驱定位平台系列，采用紧凑型一体式设计，将 X 轴和 Y 轴的运动部件集成在单一高刚性框架内，特别适用于空间受限但需要高精度双轴定位的精密仪器和自动化设备。该型号提供 75 × 75 mm 的有效行程范围，定位精度可达 ±0.5 µm，重复定位精度 ±0.1 µm，是显微成像、精密光学对准和半导体检测等应用的理想选择。

XYM 系列在 SmartStage 产品线中定位为高性能紧凑型 XY 平台，其一体式基座设计从根本上消除了传统堆叠式 XY 平台常见的累积误差和正交度偏差问题。直线电机直驱技术确保了零背隙、零摩擦的平滑运动，配合高分辨率光栅编码器实现了纳米级别的运动控制精度。元锤作为 Dover Motion 在中国区的授权合作伙伴，为客户提供全面的技术支持与产品服务。

产品特点

1. 一体式紧凑设计

XYM 系列采用高度集成的一体式基座设计，将 X 和 Y 轴的全部运动部件整合在单一结构内，实现了比传统堆叠式 XY 平台更小的外形尺寸和更高的结构刚性。紧凑的 180 mm × 180 mm × 45 mm 外形使其可以轻松集成到空间受限的光学平台和仪器设备中。

2. 超精密定位能力

得益于精密机械加工和闭环伺服控制技术，该平台实现了 ±0.5 µm 的定位精度和 ±0.1 µm 的重复定位精度。光栅编码器分辨率最高可达 0.02 µm，确保了极高的定位分辨率和运动平滑性。

3. 直驱技术消除背隙

采用无铁芯直线电机直接驱动，运动部件之间无机械传动环节，彻底消除了背隙和摩擦对定位精度的影响。平滑的驱动力输出确保了稳定的低速运动和精确的微步进控制。

4. 高刚性交叉滚柱轴承导轨

配备精密交叉滚柱轴承导轨，提供了优异的承载刚性和运动平稳性。大接触面积设计有效抑制了运动中的微振动，确保了长时间工作的稳定性。

5. 快速响应与高吞吐量

最高运动速度可达 200 mm/s，配合轻量化运动部件实现快速加减速。最大负载能力 5 kg，满足多数精密仪器和检测设备的负载要求。

6. 灵活集成与扩展

平台提供标准化的机械安装接口和电气连接方案，支持与各种运动控制器和驱动器无缝对接。可选多种升级选项，包括真空兼容版本和 Z 轴集成方案。

型号与技术参数

通用技术参数

典型应用

生命科学成像

支持高分辨率显微成像、共聚焦显微镜和多光子显微镜的样本自动扫描，保证长时间成像的稳定性与重复性。

半导体晶圆检测

适用于晶圆图案比对、缺陷检测和 MEMS 器件测试，提供纳米级定位精度和高通量运动能力。

精密计量与测量

用于光学测量、坐标测量机（CMM）和干涉仪中的样本精密定位与扫描运动。

激光加工与微纳制造

应用于激光直写、飞秒激光微加工和光刻机中的精密工件台定位与轨迹控制。

自动化光学检测（AOI）

支持 PCB、显示屏和精密零件的高通量自动光学检测，满足高速步进与稳定成像的需求。

OEM 仪器集成

紧凑的结构设计使其易于集成到医疗设备、科研仪器和工业自动化设备中，提供完整的运动控制解决方案。

关于元锤

元锤（One Hammer Tech）是 Dover Motion 在中国地区的授权合作伙伴，专注于精密运动控制领域的技术推广、产品销售、系统集成与技术支持。依托多年的行业经验和技术积累，我们为生命科学、半导体、精密制造、科研仪器等领域的客户提供从单轴定位平台到多轴复杂运动系统的完整解决方案。

我们不仅提供标准产品的选型咨询和采购服务，还可根据客户的特殊需求进行定制化开发与集成。如需了解更多产品信息或获取详细技术资料，请访问我们的产品目录或直接联系我们获取一对一技术支持。

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