美国 Beam Imaging UV 光束分析系统 准分子激光与紫外激光光束诊断

美国 Beam Imaging UV 光束分析系统是专为深紫外和准分子激光器光束特性精密诊断设计的专用光束分析平台，属于 Beam Imaging 激光诊断产品系列。该系统配备紫外增强型 CCD 相机，190-400nm 波段量子效率 >40%，配合衰减光学组件和高精度电动平移台，可自动扫描测量 193nm ArF 和 248nm KrF 准分子激光的近场光斑分布、远场发散角和 M2 光束质量因子。内置 UV 专用 BeamGage 分析软件支持多脉冲累积平均和单脉冲捕获两种模式，适用于准分子激光器研发、紫外光刻光源质量检验和激光微加工 UV 光源的稳定性定期评估。