美国 Beam Imaging MicroSpot 显微光束测量系统（Micro Beam Measurement System）专为直径1μm-1mm的微小激光光斑精确测量设计。采用高NA显微物镜将微米级光斑放大后投射至高分辨率相机或狭缝探头，通过软件系数反推还原实际光斑轮廓和尺寸。空间分辨率可达<0.5μm，可精确测量亚微米和微米级焦点的完整2D和3D强度分布。包含显微物镜套件、精密Z轴对焦台和散射光消除暗箱。适用于激光直写光刻机写入光斑的尺寸和强度分布均匀性校准、光纤激光端面微加工中聚焦光斑形态的精确表征和激光微钻孔入口出口光斑尺寸差异的光束质量诊断。
| 品牌 | Beam Imaging |
| 国家 | 美国 |
| 型号 | MicroSpot |
| 产品类型 | 显微光束测量系统 |
| 最小可测光斑 | 亚微米级 (<0.5 μm) |
| 测量光斑范围 | 1 μm – 1 mm |
| 放大方式 | 高NA显微物镜 |
| 功能 | 微小光斑高分辨轮廓和尺寸精确测量 |
| 用途 | 激光直写光斑校准、光纤微加工聚焦表征、微钻孔光束诊断 |
| 适用客户 | 激光直写设备厂商、精密激光微加工企业、超快激光应用 |
| 选型重点 | 最小可测光斑直径、显微镜物镜放大倍率、光斑散射抑制 |
| 采购服务 | 元锤OneHammer提供显微物镜清洁和防尘罩 |
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