ASI Imaging 压电Z轴纳米定位台(Piezo Z Stage)基于压电陶瓷驱动与柔性铰链导向机构,实现亚纳米分辨率的Z向精密定位。产品可直接替换显微镜原有调焦机构或作为辅助精细聚焦单元使用。独有的电容位移传感器闭环反馈控制确保了高线性度、低迟滞和出色的重复定位性能。特别适用于超分辨率显微镜(STORM/PALM/STED)、共聚焦成像和SPM等对Z轴精度要求极高的应用。
| 行程范围 | 50μm / 100μm / 200μm |
| 驱动方式 | 低压压电陶瓷叠堆 |
| 分辨率 | < 0.1nm(闭环)/ < 0.05nm(开环) |
| 重复定位精度 | ±2nm |
| 线性度 | ≤ 0.03%(闭环)/ ≤ 0.15%(开环) |
| 谐振频率 | 500Hz ~ 2kHz(视负载与行程) |
| 传感器 | 电容式位移传感器(闭环反馈) |
| 最大负载 | 0.5kg ~ 5kg(视型号) |
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