美国 ASI Imaging Piezo Z Stage 压电Z轴纳米定位台 高精度聚焦应用

ASI Imaging 压电Z轴纳米定位台(Piezo Z Stage)基于压电陶瓷驱动与柔性铰链导向机构,实现亚纳米分辨率的Z向精密定位。产品可直接替换显微镜原有调焦机构或作为辅助精细聚焦单元使用。独有的电容位移传感器闭环反馈控制确保了高线性度、低迟滞和出色的重复定位性能。特别适用于超分辨率显微镜(STORM/PALM/STED)、共聚焦成像和SPM等对Z轴精度要求极高的应用。

行程范围 50μm / 100μm / 200μm
驱动方式 低压压电陶瓷叠堆
分辨率 < 0.1nm(闭环)/ < 0.05nm(开环)
重复定位精度 ±2nm
线性度 ≤ 0.03%(闭环)/ ≤ 0.15%(开环)
谐振频率 500Hz ~ 2kHz(视负载与行程)
传感器 电容式位移传感器(闭环反馈)
最大负载 0.5kg ~ 5kg(视型号)

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