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Angstrom Sciences 金属合金溅射靶材
Angstrom Sciences提供全系列金属合金溅射靶材，包括镍铬（NiCr）电阻靶、钴铬（CoCr）磁性靶、镍铁（NiFe）软磁靶、钛铝（TiAl）金属间化合物靶等。采用真空熔炼+热等静压工艺制备，成分均匀性达±0.5%，纯度≥99.9%。产品广泛用于薄膜电阻器、磁记录介质、MEMS器件及高温防护涂层等领域。
产品规格
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 合金种类 | NiCr, CoCr, NiFe, TiAl, CuGa 等 |
| 纯度 | ≥ 99.9% (3N) |
| 成分公差 | ±0.5 wt% |
| 尺寸范围 | 直径1-12英寸，长度≤2000mm |
典型应用
- 薄膜电阻器NiCr电阻层镀膜
- 磁记录介质CoCrPt合金磁性层
- MEMS器件NiFe软磁薄膜制备
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