Angstrom Sciences 出品的 ITO 旋转溅射靶材采用高密度氧化铟锡（In₂O₃:SnO₂ = 90:10）陶瓷烧结工艺，纯度 ≥ 99.99%，适用于平面显示面板、触摸屏及薄膜太阳能电池的透明导电膜沉积。旋转结构利用率高达 80% 以上，显著降低客户综合成本。
技术规格
| 材料成分 | In₂O₃:SnO₂ = 90:10 wt% |
| 纯度 | ≥ 99.99% |
| 密度 | ≥ 7.1 g/cm³ |
| 典型尺寸 | 直径 100-200 mm × 长度 300-2000 mm |
产品应用
- 平面显示器 ITO 透明电极薄膜沉积
- 触摸屏导电层溅射镀膜
- 薄膜太阳能电池窗口层制备
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