Angstrom Sciences RTS 旋转溅射靶材采用圆筒状可旋转设计，材料利用率高达80%以上，较平面靶提升2-3倍。适用于反应溅射工艺，广泛用于建筑Low-E玻璃、触摸屏ITO薄膜和大面积光学镀膜。内置水冷系统，功率承载能力高，有效降低热点和弧光效应。支持多种靶材材质定制。
| 品牌 | Angstrom Sciences (美国) |
| 型号 | RTS Series |
| 靶材类型 | 旋转溅射靶 |
| 材料利用率 | ≥80% |
| 冷却方式 | 内置水冷 |
| 适用工艺 | 反应溅射（AC/RF） |
| 应用 | Low-E玻璃、ITO薄膜、光学镀膜 |
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